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日置HIOKI在半导体器件测试中的应用

时间:2021-01-22 12:06:27 来源:日本日置 点击:267次

半导体是什么

半导体是指常温下导电性能介于导体和绝缘体质检的材料,目前,常用的半导体材料包括三种:硅、锗、砷化镓。平时说的半导体,其实是指半导体元器件(或集成电路),也就是由半导体材料制造的电子元器件(或集成电路)。

半导体是什么

半导体应用领域

半导体在我们熟悉的集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明、汽车电子、大功率电源转换等领域都有应用,而日置HIOKI的测试仪器如功率分析仪存储记录仪数据采集仪电池测试仪、LCR测试仪、阻抗测试仪等也在这些领域担任着重要的测试任务。

日置HIOKI在半导体C-V测试上应用

那么日本日置产品在半导体元器件(或集成电路)测试中的应用有哪些呢?以晶圆级MOSFET为例,晶圆电容-电压(C-V)特性曲线测试是半导体参数测试中的比较关注的一部分,CV频率范围根据不同的器件有1Hz-100Hz、10Hz-10KHz、10KHz-1MHz或者更高频段,通过上位机软件在固定频段下以0.1V或者0.5V的步进扫描电压测试C值,电压范围有-5V~+5V、-10V~+10V、-20V~+20V、-30V~+30V、-40V~+40V或者更高。(支持第三方软件控制)

日置HIOKI在半导体C-V测试上应用

通过C-V测量还可以对其他类型半导体器件和工艺进行特征分析,如:BJT晶体管,二极管与PN结,III-V族化合物,二维材料,金属材料,光子检测器件,钙钛矿与太阳能电池,LED与薄膜晶体管,非易失性存储器与材料,MEMS与传感器,分子与纳米器件,半导体器件特性分析与建模,器件噪声特性分析以及检测工艺参数和失效分析机制等。

低频阻抗分析仪IM3590

扩展应用
半导参数测试中除了CV电容电压特性曲线测试,还有IV电流电压特性曲线测试,可以将LCR测试仪IM3536搭配皮安表SM7110以及其他测试仪器进行系统集成。

日本日置在半导体行业的产品介绍

低频阻抗分析仪IM3590

低频阻抗分析仪IM3590


用于测试器件、材料等
● 针对DC以及1mHz~200kHz范围内的频率带宽可设置5位的分辨率(100Hz不到是1mHz分辨率)。能够进行共振频率的测量和在接近工作条件的状态下进行测量、评估。
● 测量频率1kHz,测量速度FAST时,可达最快2ms。有助于扫频高速化。
● Z的基本精度是±0.05%。从零部件检查到研究开发的测量,都能达到推荐精度。

LCR测试仪IM3536

LCR测试仪IM3536

直流偏置电压高达±500V
● 测量频率DC,4Hz~8MHz
● 测量时间:最快1ms
● 基本精度:±0.05% rdg.
● mΩ以上的精度保证范围,也可安心进行低阻测量
● 可内部发生DC偏压测量
● 从研发到生产线活跃在各种领域中

高频阻抗分析仪IM7587
高频阻抗分析仪IM7587可稳定测量高达3GHz的阻抗
● 测试电压测量频率:1MHz~3GHz
● 测量时间:最快0.5ms(模拟测量时间)
● 测量值偏差:0.07%(用3GHz测量线圈1nH时)
● 基本精度:±0.65% rdg.
● 紧凑主机仅机架一半大小,测试头尺寸仅手掌大小
● 丰富的接触检查(DCR测量、Hi-Z筛选、波形判定)
● 分析模式下可以边扫描测量频率、测量信号电平边进行测量


具体日本日置产品详细信息请联络日本日置授权代理商-上海君达仪器。

 

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