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洁净室测量

时间:2019-12-30 15:07:40 来源:日本加野 点击:802次

为证明洁净车间 工作得令人满意,必须证明其满足了下述准则的要求:
1.洁净车间的送风量充足,足以稀释或消除室内产生的污染。
2.洁净车间的送风不会显著增加室内的污染。
3.洁净车间内的空气是从洁净区向洁净程度差的区域流动,受污染空气的流动达到zuidi程度,空气在门口处和室内建筑中的流动方向正确。
4.室内空气的运动状态可保证密室内没有高浓度聚集区域。
如果洁净车间达到了上述这些准则的要求,就可以测量其粒子浓度或微生物浓度(必要时),以确定其达到了规定的洁净车间标准。

洁净车间的测试 :

1.送风量与排风量:如果是紊流洁净车间,那么就要测量其送风量与排风量。若为单向流洁净车间,则要测量其风速。
2.各区之间的气流控制:为证明各区之间气流运动方向正确,也就是从洁净区向洁净度差的区域流动,必须检测:
(1)各区间的压差正确;
(2)门口处或墙、地板等处的开口处气流运动方向正确,即从洁净区向洁净程度差的区域流。
3.过滤器检漏:对高效过滤器及其外框要进行检验,以保证悬浮污染物不会穿过
(1)损坏了的过滤器;
(2)过滤器与其外框间的缝隙;
(3)过滤器装置的其他部位而侵入室内。
4.隔离检漏:这项测试是为了证明悬浮污染物不穿过建筑材料侵入洁净车间。
5.悬浮粒子浓度和微生物浓度:如果上述这些测试满足要求,则zui后对粒子浓度和微生物浓度(需要时)进行测量,以便验明其符合洁净车间设计的技术条件。
6.室内气流控制:气流控制测试的类型要依洁净车间的气流模式——是紊流还是单向流而定。若洁净车间气流为紊流,则必须验明室内没有气流运行不足的区域。若是单向流洁净车间,则必须验明整个室内的风速和风向是符合设计要求的。
7.其他测试:除了上述这些污染控制方面的测试以外,有时还须进行下述一项或若干项测试:
● 温度 ● 相对湿度 ●室内加热与冷却容量 ● 噪声值 ● 光照度 ● 振动值

随着计算机、微电子和信息技术的发展,推动电子制造业飞速发展的同时,也带动了洁净室技术的发展,同时对洁净室的设计提出了更高的要求。电子制造业洁净厂房的设计是一项综合的技术,只有充分了解电子制造业洁净厂房的设计特点,做到设计合理,才能让电子制造产业的产品次品率降低,提高生产效率。      

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电子制造业厂万级洁净室厂房特点 :

洁净度等级要求高 , 风量、温度、湿度、压差、设备排风按需受控 , 照度、洁净室截面风速按设计或规范受控,另外该类洁净室对静电要求极其严格。其中对湿度的要求尤甚。因为过于干燥的厂房内极易产生静电,造成 CMOS 集成损坏。一般来说,电子厂房的温度应控制在 22 ℃ 左右,相对湿度控制在 50-60% 之间 ( 特殊洁净车间有相关温湿度规定 ) 。 这时可有效地消除静电,并使人也感觉舒适。芯片生产车间、集成电路无尘室和磁盘制造车间是属于电子制造行业洁净室的重要组成部分,由于电子产品在制造、生产过程中对室内空气环境和品质的要求极为严格,主要以控制微粒和浮尘为主要对象,同时还对其环境的温湿度、新鲜空气量、噪声等作出了严格的规定。
● 电子制造厂万级无尘车间内的噪声级(空态):不应大于 65dB(A)
● 电子制造厂无尘车间垂直流无尘车间满布比不应小于 60% ,水平单向流无尘车间不应小于 40% ,否则就是局部单向流了。
● 电子制造厂无尘车间与室外的静压差不应小于 10Pa ,不同空气洁净度的洁净区与非洁净区之间的静压差不应小于 5Pa
● 电子制造行业万级无尘车间内的新鲜空气量应取下列二项中的大值:
● 补偿室内排风量和保持室内正压值所需的新鲜空气量之和。
● 保证供给无尘车间内每人每小时的新鲜空气量不小于 40m3 。

电子制造行业无尘车间净化空调系统加热器,应设置新风,超温断电保护,若采用点加湿时应设置无水保护,寒冷地区,新风系统应设置防冻保护措施。无尘室的送风量,应取下面三项大值:
● 保证电子制造厂无尘室空气洁净度等级的送风量:
● 根据热,湿负荷计算确定电子厂无尘车间的送风量:
● 向电子制造厂无尘车间内供给的新鲜空气量:
  
电子无尘车间净化原理:
气流 → 初效空气过滤器净化 → 空调 → 中效空气过滤器净化 → 风机送风 → 管道 → 高效空气过滤器净化风口 → 吹入房间 → 带走尘埃细菌等颗粒 → 回风百叶窗 → 初效空气过滤器净化 重复以上过程,即可达到净化目的。

 
电子无尘车间参数:
● 换气次数: 100000 级 ≥15 次; 10000 级 ≥20 次; 1000≥30 次。压差:主车间对相邻房间 ≥5Pa
● 平均风速: 10 级、 100 级 0.3 - 0.5m/s ;温度 冬季> 16 ℃ ;夏季 <26 ℃ ;波动 ±2 ℃ 。
● 温度 45 - 65 %;高标准粉剂车间湿度在 50 %左右为宜;电子车间湿度略高以免产生静电。
● 噪声 ≤65dB ( A );新风补充量是总送风量的 10 %- 30 %;照度 300LX 。

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